매칭 진행 중
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ID
30069
ALD 초박막 기반 메모리·센서 소자 개발
기업 용역
정부 지원 과제
기술 이전
을 함께 진행할
기업
을 찾는 공고입니다.
본 연구는 ALD 기반 초박막 기능성 소재 및 계면 제어 기술을 바탕으로 차세대 반도체 메모리와 고감도 센서 소자 개발을 목표로 합니다. 고유전 유전체·전극 박막의 두께·조성·결함을 정밀 제어하고, 2DEG 기반 고이동도 나노전자 소자 구조를 설계·고도화하며, DRAM 및 비휘발성 메모리의 신뢰성 향상을 위한 계면 트랩 및 누설전류 저감 기술을 개발하고자 합니다. 또한 수소 센서 및 DUV 광센서 등 특수 환경용 센서의 고감도·고내구성 구현과, 박막 기반 에너지 변환 소자의 효율 및 장기 안정성 개선을 함께 지향합니다.
게시자 유형
연구실
핵심 키워드
ALD
기능성박막
차세대메모리
과제 규모
협의 가능
공고 마감일
2026-05-31
연구실 소개
연구실 소개
아주대학교 전자공학과·에너지시스템학과 소속 이상운 교수의 NFML(Nanoelectronic Functional Materials Lab)은 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 기반 기능성 박막 소재를 설계·합성하고 이를 활용한 반도체 소자, 나노전자소자, 센서 및 에너지 디바이스를 연구하는 연구실입니다. 초박막 유전체 및 전극 소재의 계면 제어, 2차원 전자가스(2DEG) 기반 소자 구현, 차세대 메모리 및 트랜지스터 개발 등 소재-공정-소자를 아우르는 통합 연구 역량을 바탕으로 고성능·저전력·고신뢰성 전자소자 기술 확보를 목표로 합니다.
대표 연구 분야
1. ALD 기반 기능성 박막 소재 및 계면 공학 - 고유전 유전체, 전극 박막, 산화물 반도체 등을 대상으로 원자층 단위의 두께·조성·결함 정밀 제어와 계면 특성 최적화를 연구합니다. 2. 차세대 메모리 및 나노전자 소자 - DRAM 및 비휘발성 메모리(NVM)용 박막 소재 개발과 2DEG 기반 나노전자 소자 구조 설계 및 성능 향상을 연구합니다. 3. 초박막 트랜지스터 및 로직 소자 - 저전력·고집적 트랜지스터 구조 설계와 투명/유연 전자소자 응용을 연구합니다. 4. 센서 및 광전자 소자 - 수소 센서, DUV 광센서 등 나노구조 기반 고감도 센서 디바이스 개발을 연구합니다. 5. 에너지 디바이스 응용 - 박막 기반 태양전지 및 에너지 변환·저장 소자 연구를 수행합니다.
정부과제 / 산학협력 경험
- 산업통상자원부 및 과학기술정보통신부 반도체 소재·소자 관련 국가연구개발과제 수행 - 차세대 메모리 및 산화물 반도체 기반 소자 개발 공동연구 수행 - ALD 기반 기능성 박막 공정 기술 관련 산학 공동 연구 및 기술 자문 - 국내외 학술 논문 다수 발표 및 박막/소자 관련 특허 출원
연구 희망 개요
연구 희망 및 관심 주제
차세대 반도체 메모리 및 고감도 센서 구현을 위한 ALD 기반 초정밀 박막 공정·계면 제어 기술 개발 - 본 연구는 원자층 증착(ALD)을 활용하여 고유전 유전체 및 전극 박막의 두께·조성·결함을 정밀하게 제어하고, 소자 성능과 신뢰성을 좌우하는 계면 특성을 최적화하는 기술 개발을 목표로 합니다. 2차원 전자가스(2DEG) 기반 고이동도 나노전자 소자 구조 설계 및 성능 향상, DRAM 및 비휘발성 메모리 소자의 계면 트랩·누설전류 저감 기반 신뢰성 개선, 수소 센서·DUV 광센서 등 특수 환경용 고감도·고내구성 센서 디바이스 구현을 포함하여, 차세대 반도체·센서 소자 개발에 필요한 핵심 박막 공정 및 소자 기술을 통합적으로 고도화하고자 합니다.
협력 가능 분야
- 반도체 소재 및 공정 장비 기업과의 ALD 공정 공동 개발 - 메모리·파운드리 기업과의 차세대 소자 구조 및 신뢰성 평가 협력 - 가스/환경 센서 기업과의 고감도 박막 센서 상용화 연구 - 태양전지 및 에너지 소자 기업과의 박막 기반 고효율 디바이스 개발 - 소자 특성 분석, 공정 최적화, 파일럿 라인 검증 협업
본 연구 관련 연구실 특장점
- 원자층 증착(ALD) 기반 초박막 정밀 제어 기술을 확보하고 있습니다. - 소재-계면-소자 특성을 통합적으로 분석·설계하는 연구 역량을 보유하고 있습니다. - 2DEG 및 고유전 박막 기반 차세대 소자 연구 경험을 보유하고 있습니다. - 반도체 및 센서 분야 논문·특허 성과를 보유하고 있습니다. - 차세대 메모리·센서·에너지 소자를 아우르는 융합 연구 수행이 가능합니다.
협업 요건
파트너 기대 역할
기업 역할 - 산업 요구 성능 사양 제시 및 타깃 소자 구조 정의 - 웨이퍼 공정 인프라 및 대면적 공정 적용 지원 - 신뢰성 평가, 양산성 검토 및 패키징 기술 제공 - 상용화 및 인증 대응 연구실 역할 - ALD 기반 박막 소재 설계 및 공정 조건 최적화 - 계면 특성 분석 및 결함 제어 기술 개발 - 소자 구조 설계 및 프로토타입 제작 - 전기적 특성 평가 및 성능 개선 전략 수립
협업 파트너 희망 요건
- 반도체 메모리·파운드리·전력반도체 기업 - ALD 및 박막 공정 장비 기업 - 고감도 가스/광센서 개발 기업 - 차세대 에너지 소자 및 태양전지 기업 - 반도체 공정 공동개발 및 파일럿 테스트가 가능한 기업
기업 서비스